新凯来发布6大类31款半导体设备(附产品资料)

时间: 2025-04-06 04:00:59 |   作者: 贝博官网

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新凯来发布6大类31款半导体设备(附产品资料)

  3月27日音讯,在上海举办的SEMICON China 2025展会期间,国产半导体设备新秀新凯来正式对外发布了6大类31款新品。

  详细包含了外延堆积EPI设备(峨眉山系列)、原子层堆积ALD设备(阿里山系列)、物理气相堆积PVD设备(普陀山系列)、刻蚀ETCH设备(武夷山系列)、薄膜堆积CVD设备(长白山系列)和量检测设备(包含岳麓山系列、丹霞山系列、蓬莱山系列、莫干山系列、天门山系列、沂蒙山系列和赤壁山系列和功率检测的RATE系列新产品)。

  新凯来工业机器有限公司工艺配备产品线总裁杜立军表明,AI、智能驾驭等工业对算力需求及增加,推进半导体配备商场稳步增加。配备新技术演进方向是更高能量控制精度、更快硬件响应速度、更大工艺窗口,以射频/等离子体场为例,估计从7纳米到3纳米的演进过程中,会有10倍的能量控制精度提高,时延从10毫秒缩短到1毫秒的硬件响应速度提高。现在新凯来根据一代工艺、一代资料、一代配备的规划理念,现已开发了刻蚀产品、分散产品、薄膜产品以及物理量测产品、X射线量测产品、光学量查验测验产品6大类工艺和量检测配备,掩盖先进逻辑和存储,支撑向更先进节点演进。

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